Gorbunoff Dmitr
Минпромторга за 670 миллионов рублей там будут разрабатывать концепцию безмасочного рентген-фотолитографа «на базе синхротронного и/или плазменного источника».
Статью прочитать не судьба была? Они не пустом месте разработки ведут.
Минпромторга за 670 миллионов рублей там будут разрабатывать концепцию безмасочного рентген-фотолитографа «на базе синхротронного и/или плазменного источника».
Статью прочитать не судьба была? Они не пустом месте разработки ведут.
Решение взяться за такую разработку основано, по словам Дюжева, на нескольких проведенных в ЦКП предварительных исследований, в рамках которых были разработаны экспериментальные и теоретические основы и ключевые технологии, необходимые для создания EUV-фотолитографа. В частности, ЦКП участвовал в НИОКР «Разработка источника мягкого рентгеновского излучения на основе матрицы микрофокусных рентгеновских трубок для безмасочного литографа с разрешением лучше 10 нм» совместно с коллективом учёных ИМФ (ИПФ) РАНиз Нижнего Новгорода.